マイクロチューブ
セラミック射出成形技術により実現した
圧電性セラミックスのマイクロチューブです。
圧電性セラミックマイクロチューブ
セラミック射出成形によるマイクロセラミック技術を応用し、
圧電性セラミックスのマイクロチューブを実現しました。
圧電性セラミックス・マイクロチューブ
・ 材質： PZTセラミックス（Pb(Zr,Ti)O3, チタン酸ジルコン酸鉛）
・ 最小サイズ 外径φ0.4mm×φ0.2mm まで対応。
・ 外周面･内周面への電極加工やパターニングも可能です。
圧電性セラミックスの材料特性
| 材質 | チタン酸ジルコン酸鉛 Pb(Zr, Ti)O3 |
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| 密度 | g/cm3 | 7.9 |
| 比誘電率 | － | 2120 |
| 尖鋭度 | Qm | 292 |
| 誘電損失 | tanδ, ％ | 0.6 |
| キュリー温度 | Tc, ℃ | 300 |
| 周波数定数 | Nr, Hz･m | 1995 |
| 電気機械結合係数 | kr, ％ | 67 |
| k33, ％ | 76 | |
| 圧電ひずみ定数 | d31, ×10-12m/V | 213 |
開発品：金属コア入り圧電性セラミックチューブ
圧電性セラミックマイクロチューブの発展技術として、
金属コアの一体成形品を開発中です。
金属コア入り圧電性セラミックチューブ
材質
金属コア： Pt
セラミックチューブ： PZTセラミックス
（Pb(Zr,Ti)O3, チタン酸ジルコン酸鉛）
振動を検知し、これを相殺する電気入力によって振動を抑える、
振動制御システム等への応用に向けて開発中です。
